题目
更新时间：2024-03-31 18:20:33
求解答，词语衍射光学元件是什么意思？再说说衍射光学元件有什么含义？答案
衍射光学元件的词语属性
拼音yǎn shè guāng xué yuán jiàn
拼音字母yan she guang xue yuan jian
拼音首字母ysgxyj
衍射光学元件的百科含义
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。