题目
更新时间：2024-04-20 21:11:46
求解答，词语防护环是什么意思？再说说防护环有什么含义？答案
防护环的词语属性
拼音fáng hù huán
拼音字母fang hu huan
拼音首字母fhh
防护环的百科含义
：一种用于淀积机台的防护环。当晶片配置于淀积机台上，且防护环配置于晶片周围时，防护环邻近晶片的顶面不低于晶片顶面。此外，当晶片配置于淀积机台上，且防护环配置于晶片周围时，防护环与晶片之间的间距小于0.7毫米。本发明的防护环可使得薄膜在晶片侧壁不会形成侧边淀积的现象，因此可提高薄膜淀积工艺的平坦度与良率。