洁净隧道的词语属性

洁净隧道的百科含义

以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。　　洁净隧道另有二项优点：　　A.弹性扩充容易； 　　B.维修设备时可在维修区轻易执行。